無塵室

  無塵室無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。

潔凈標(biāo)準(zhǔn)（GB50073-2001）
展開編輯本段概述無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵室*主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國(guó)際慣例，  無塵室
無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
如表所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
編輯本段控管項(xiàng)目⒈ 能除去空氣中飄游之微  無塵室
塵粒子。
⒉ 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
⒊ 溫度和濕度之控制。
⒋ 壓力之調(diào)節(jié)。
⒌ 有害氣體之排除。
⒍ 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
⒎ 靜電之防制。
⒏ 電磁干擾預(yù)防。
⒐ **因素之考慮。
⒑ 節(jié)能之考量。
⒒照度的的調(diào)節(jié)
⒓浮游菌及沉降菌的控制
編輯本段分類1.亂流式（Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA）進(jìn)入無塵室，并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）。此型式適用于無塵室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，提高無塵室等級(jí)。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制  無塵室
程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
2.層流式（Laminar)
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無塵室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。
3.復(fù)合式（Mixed Type)
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
⑵潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為*適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
⑶并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級(jí)10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
潔凈工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)。
潔凈工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較**之潔凈空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。
無塵室分類對(duì)比
 亂流式 層流式 復(fù)合式
水平層流式 垂直層流式 潔凈隧道 潔凈管道 局部無塵
潔凈度 Class1000~100000 Class100~1000 全區(qū)Class 100 隧道內(nèi)Class100 Class 100 *靠近面Class100~1000
換氣次數(shù) （次/時(shí)） 15~80 100~300 300~500 隧道內(nèi)500~1000 100~300 100~300
風(fēng)速（m/s） 1~3 0.45~0.6 0.25~0.4 0.3~0.5 0.25~0.5 0.25~0.45
正壓度（mm wg） 0.5~1.5 1.0~2.0 1.5~2.5 1.0~2.0 1.0~2.5 1.0~3.0

相關(guān)概念:
⑴自凈時(shí)間：是指無塵室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到無塵室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。1,000級(jí)希望不超過20min（分鐘，可取15min計(jì)算）10,000級(jí)希望不超過30min（分鐘，可取25min計(jì)算）100,000級(jí)希望不超過40min（分鐘，可取30min計(jì)算）
⑵換氣次數(shù)（按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì)）1,000級(jí) 43.5-55.3次/小時(shí)（規(guī)范：50次/小時(shí)）10,000級(jí) 23.8-28.6次/小時(shí)（規(guī)范：25次/小時(shí)）100,000級(jí) 14.4-19.2次/小時(shí)（規(guī)范：15次/小時(shí)）
氣流流動(dòng)無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。
無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以*適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。
另一方面欲達(dá)到無塵室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般無塵室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響無塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。
一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部分的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。
無塵室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少*低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
構(gòu)成無塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室：
⑴天花板系統(tǒng)
包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。
⑵空調(diào)系統(tǒng)
包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。
⑶隔墻板（Partitional wall)
包括窗戶、門。
⑷地板
包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具
包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無塵室之建筑主體構(gòu)造
一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：
A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；
B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性??；
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高；
用途分類⑴、工業(yè)無塵室
——以無生命微粒的控制為對(duì)象。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
⑵、生物無塵室
主要控制有生命微粒（**）與無生命微粒（塵埃）對(duì)工作對(duì)象的污染。又可分為；
A、 一般生物無塵室，主要控制微生物（**）對(duì)象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種**劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種**處理的工業(yè)無塵室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。
B、 生物學(xué)**無塵室：主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：**學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因、疫苗制備）
污染源1、發(fā)塵量
無塵室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵**量也不斷減少。
A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量*大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式：大掛式發(fā)塵量*大，上下分裝型次之，全罩型*少；
C、活動(dòng)：動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間3-7倍；
D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。
室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量，以地面為準(zhǔn)，大約相應(yīng)8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。
2、發(fā)菌量
工作人員產(chǎn)生的污染
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。
3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和**。
5）人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。
7）人類以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒。
分析國(guó)外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為
⑴ 無塵室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無菌服時(shí)：
靜止時(shí)的發(fā)菌量一般為10-300個(gè)/min.人
軀體一般活動(dòng)時(shí)的發(fā)菌量為 150-1000個(gè)/min.人
快步行走時(shí)的發(fā)菌量為 900-2500個(gè)/min.人
⑵ 咳嗽一次一般為 70~700個(gè)/ min.人
噴嚏一次一般為 4000~62000個(gè)/ min.人
⑶ 穿平常衣服時(shí)發(fā)菌量 3300~62000個(gè)/ min.人
⑷ 無口罩發(fā)菌量：有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14
⑸ 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國(guó)內(nèi)事例：
⑹ 手術(shù)中人員發(fā)菌量 878個(gè)/ min.人
所以，可知無塵室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個(gè)/ min.人，動(dòng)態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個(gè)/ min/人，以此作為計(jì)算依據(jù)是可行的。
特性（l）耐久性；⑵成本； ⑶適應(yīng)性； ⑷可維護(hù)性；⑸清洗。
耐久性
無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時(shí)也依賴無塵室等級(jí)來建造。半導(dǎo)體 Fabs 傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。
清洗
在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或**的污染之特性。在 biotech 市場(chǎng)，清洗真正地是一個(gè)*重要的企業(yè)。
成本
微電子 C/R 建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到億。fab 能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個(gè)很重要的考慮因素。
適應(yīng)性
一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆**，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招**大的損失。C/R 的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一 C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將*初的設(shè)計(jì)定型。
維護(hù)性
對(duì)無塵室 C/R 而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中*重要的為天花板，其包含　HEPA　及　ULPA　等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要，便其分開來，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間，曾有人說 ：若建造之預(yù)算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過濾粒子，故其設(shè)計(jì)必須**。
許多了解無塵室的人都贊同，**次擁有無塵室的擁有者，應(yīng)使用較好之C/R 建筑或工程設(shè)計(jì)公司或了解建筑　C/R　設(shè)計(jì)之建筑承包商若假設(shè)他們不了解， 則必會(huì)浪費(fèi)一大筆不必要花的錢，故選擇一建造C/R 的公司也是非常重要的。
對(duì) C/R 而言，其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會(huì)引起塵埃，而太軟的地板會(huì)造成地板彎曲甚致破裂，但并不是所有 C/R 的地板，都會(huì)覆蓋，乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式，而**層流都是沖孔式。
乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會(huì)有減低脫氧的效果，而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會(huì)非常昂貴，但鋁卻可以保護(hù)墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。
對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車及重量的運(yùn)輸，而**地板所用者大部分為**藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見地板磨損時(shí)，也就是使用期已太久，快破裂了，不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí)，也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。
另外，C/R*怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網(wǎng)有很多種。例如層流式 C/R 而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA 濾網(wǎng)組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優(yōu)點(diǎn)為，放置方式并沒有嚴(yán)格的限制。
C/R 之墻壁還有一種是以薄鋼制成，但必須在表層涂上一層保護(hù)層，否則亦會(huì)腐蝕，它并不容易電鍍，而在表層涂上的保護(hù)層會(huì)變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質(zhì)量的不銹鋼，就不必涂上保護(hù)層7，而使用玻璃作的 C/R 會(huì)使得房間的光線大增，以及美觀，但必須涂上一抗紫外線的障礙物，且可以視覺互通，較不會(huì)產(chǎn)生幽閉恐懼癥。
空調(diào)選用本篇文章所討論到問題就是選用清凈室之 AHU 所應(yīng)考慮到的問題。對(duì)每個(gè)工程師或設(shè)計(jì)師而言，選用清凈室的空調(diào)系統(tǒng)大概是*復(fù)雜的問題之一，因?yàn)榍鍍羰抑照{(diào)條件要比平常的空調(diào)區(qū)間來的復(fù)雜且較嚴(yán)格，人都用于醫(yī)院、藥品制造、精密電子零件制造場(chǎng)等。
選用正確的設(shè)備是設(shè)計(jì)者應(yīng)盡的義務(wù)。本篇文章將其分成幾個(gè)部分作討論，吾將其作為整理后作成下列報(bào)告。
（一） 就政府法令而言
各個(gè)國(guó)家政府對(duì)清凈式的設(shè)計(jì)條件要求不同，應(yīng)注意設(shè)計(jì)時(shí)政府之時(shí)令。設(shè)計(jì)清凈室之 AHU 應(yīng)府合 FDA 法規(guī)或 EPA 排放空氣法則。IAQ 已漸漸被重視，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)注意 IAQ 之法規(guī)。視使用場(chǎng)合而定，過濾方法又可分成機(jī)械過濾法與化學(xué)過濾法。初級(jí)過濾，中級(jí)過濾，高效過濾與無菌的環(huán)境以機(jī)械過濾法即能達(dá)成。為達(dá)到排氣之環(huán)境要求化學(xué)洗滌器 (scrubber) ，焚化爐或更多的機(jī)械及化學(xué)過濾設(shè)備必需被應(yīng)用?；钚蕴蓟蚋咤i酸鹽能有效達(dá)到化學(xué)過濾的要求。
（二） 就成本而言
在一些外表特殊的建筑物中，那些增加的設(shè)計(jì)和設(shè)備使用的費(fèi)用在長(zhǎng)期的利益中須作正確的判斷。在一些特別的應(yīng)用上，通常都習(xí)慣設(shè)計(jì)兩至三次的過濾以達(dá)到所要求的狀態(tài)。傳統(tǒng)的清凈室若遇上要求較為嚴(yán)格的部分時(shí)，設(shè)計(jì)必須有許多額外加價(jià)的部分。清凈室應(yīng)盡量避免停機(jī)的現(xiàn)象，在建造的成本里必須注意耐久性及可*度。在風(fēng)門調(diào)整上，設(shè)計(jì)者設(shè)計(jì)時(shí)，對(duì)溫度及濕度的要求不同，就像是在設(shè)計(jì)人們的居住環(huán)境一般。在居住環(huán)境中，停機(jī)期和溫濕度上的要求較放置設(shè)備上來得高。所以質(zhì)量上及所提供的服務(wù)成果是不能忽視的。在特殊的清凈室傳送或接收的設(shè)備，在錯(cuò)誤修改應(yīng)用上費(fèi)用是比 較昂貴的，且若不能與設(shè)計(jì)圖上一樣，可能會(huì)無法執(zhí)行。在設(shè)計(jì)特殊的清凈室時(shí)，建筑的成本中包括運(yùn)轉(zhuǎn)成本，而運(yùn)轉(zhuǎn)成本又包括須能持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的馬達(dá)成本及修護(hù)成本。成本的歸納有裝置費(fèi)，持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)，維修費(fèi)。計(jì)算運(yùn)轉(zhuǎn)成本必須考慮到能量的消耗及效率的高低。就高效率或新機(jī)臺(tái)啟動(dòng)前，會(huì)先引進(jìn)外氣，這樣對(duì)旋轉(zhuǎn)的原動(dòng)力、交流板、排氣的管路和空氣回流混合系統(tǒng)中，長(zhǎng)期使用可保持較高的效率。在操作上和持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用上必須考慮是否提高整個(gè)的設(shè)備費(fèi)用。
（三） 就工作參數(shù)設(shè)定而言
特有的溫度、濕度噪音、振動(dòng)及運(yùn)作的環(huán)境要求下，大部分將影響到設(shè)備的選用。就某些實(shí)例而言，溫濕度的設(shè)定 點(diǎn)在可接受的范圍內(nèi)必須要維持在一個(gè)長(zhǎng)時(shí)期或較完整的環(huán)境及過程。清凈室的加熱力法可用熱水、水蒸氣瓦斯和電能，可用冰水，乙醇或冷媒冷卻。使用水蒸氣、注射器、噴霧器及滲透的方法可以加濕。當(dāng)評(píng)估加濕的來源時(shí)，特別要注意的是加濕過程和加濕的方法是否保證清潔。典型的清凈室通風(fēng)管理裝置使用一個(gè)有吸收力或吸附力的物質(zhì)去除大氣中的濕氣或使用低溫乙醇螺管系統(tǒng)去濕。溫濕度設(shè)定后，就必須考慮空氣流量參數(shù)是否滿足所需。典型的清凈室必須維持在大氣常壓下。因此房?jī)?nèi)之壓力及體積之值必須適當(dāng)予以控制。風(fēng)扇的噪音與震動(dòng)必須被考慮上去。適當(dāng)?shù)难b配器材及馬達(dá)轉(zhuǎn)速可避免不必要的噪音和振動(dòng)。風(fēng)扇結(jié)構(gòu)可使用皮帶驅(qū)動(dòng)或直接驅(qū)動(dòng)。風(fēng)速控制及可變頻率控制可以依體積需要來決定噪音及振動(dòng)的限度。*普通的減振方法為裝置彈簧基座、固定基座及將空調(diào)箱遠(yuǎn)離。常用的聲音衰減器有可動(dòng)式地板、緩沖機(jī)和風(fēng)扇彎曲度及伸縮度控制。聲音衰減器隔離風(fēng)扇和設(shè)計(jì)成薄的特性，可降低幾度音階結(jié)合。除了粒子的控制之外，特別要考慮的有（a）帶**的操作過程，（b）腐蝕物或有毒的化學(xué)物品，（c）揮發(fā)性或易爆發(fā)的藥劑，（d）還有室內(nèi)及排氣的空氣質(zhì)量，（e）**，（f）設(shè)備壽命和保養(yǎng)能力等。
（四） 就建筑考慮方面
空間的使用率會(huì)影響 AHU 的實(shí)際大小。保養(yǎng)門和通路儀表板的位置必須謹(jǐn)慎地決定，特別是位于小空間的設(shè)備。應(yīng)防止表面凝結(jié)，除了涉及濕氣作用和凝結(jié)在設(shè)備的外部之外，濕氣對(duì)于空氣傳遞設(shè)備內(nèi)部構(gòu)成要素也有不利的影響，混氣對(duì)內(nèi)部構(gòu)成也有不利影響，將使壽命縮短，成本提高。濕氣作用將會(huì)散布弊病和污染物，便得效率低的令人害怕。減低建筑物的腐蝕物質(zhì)和鋁、不銹鋼或涂上一層合金，可以使用上列物質(zhì)使清凈室壽命增加。設(shè)計(jì)設(shè)備空間時(shí)，應(yīng)保留適當(dāng)?shù)耐?，以備打掃或維修用。對(duì)于銅制的、不銹鋼制和鋁制的盤管，應(yīng)注意那種場(chǎng)合適用那些盤管。
（五） 就管理合成物的規(guī)格方法
詳述一 C/R 的 AHU 是一個(gè)極大的工作，并完全增加探討和了解這加工方法能夠提供其范圍于 C/R環(huán)境，可使用的操作上和地理性的參數(shù)運(yùn)用上也必須被估量。
有專業(yè)和有經(jīng)驗(yàn)的 AHU 廠商能夠協(xié)助使用者在使用上的復(fù)雜細(xì)節(jié)以使機(jī)器不會(huì)過量設(shè)計(jì)，此項(xiàng)重點(diǎn)在 C/R 設(shè)計(jì)階段即應(yīng)詳加注意。
其要**否容易對(duì)材料的選擇而言天花板中的濾網(wǎng)有許多種，其*怕的就是粒子泄漏。
潔凈標(biāo)準(zhǔn)（GB50073-2001）空氣潔凈度等級(jí)[1]（N） 大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子*大濃度限值（個(gè)/每立方米空氣粒子）
0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 1um 5 um
ISO Class 1 10 2    
ISO Class 2 100 24 10 4
ISO Class 3 1 000 237 102 35 8
ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83
ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29
ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293
ISO Class 7  352 000 83 200 2 930
ISO Class 8  3 520 000 832 000 29 300
ISO Class 9  35 200 000 8 320 000 293 000
注：由于涉及測(cè)量過程的不確定性，故要求用不超過三個(gè)有效的濃度數(shù)字來確定等級(jí)水平。